品牌TLA | 有效期至长期有效 | 最后更新2019-09-12 19:06 |
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P-17 台式探针式轮廓仪
P-17 台式探针式轮廓仪 |
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发布时间: 2019-04-19 | 浏览[ 239 ]次 |
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产品描述P-17是第八代台式探针轮廓仪,是40多年的表面量测经验的结晶。该系统领先业界,支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。 该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。 通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
主要功能 · 台阶高度:几纳米至1000μm · 微力恒力控制:0.03至50mg · 样品全直径扫描,无需图像拼接 · 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机 · 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 · 软件:简单易用的软件界面 · 生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用 · 台阶高度:2D和3D台阶高度 · 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度 · 形状:2D和3D翘曲和形状 · 应力:2D和3D薄膜应力 · 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
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