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近年来瑞士MPI公司推出一种新型的超声发生器，称之为MMM（Multi-frequency,Multimode,Modulated）发生器。指的是多频，多模调制发生器。它不仅能够解决复杂结构机械负载系统的驱动，而且对液体处理设备，如超声清洗及声化学反应设备的驱动更具有突出的优点。传统的超声清洗系统一般是采用固定频率驱动，不考虑清洗槽形状，液面高低，液体温度及被清洗件等对换能器最佳工作频率的影响。这样会降低空化强度及可能产生驻波而降低清洗效果。MMM來技术是用一种专门的反馈系统产生一种最佳而复杂的驱动信号以适应负载的变化，即用先进的数字信号來处理技术监控换能器对负载变化的响应，用实时反來馈环产生复杂的多模调制驱动信号以激励机械负载（如换能器清洗缸系统）的谐波以产生一种宽频的多频声场（由次声到兆赫声），因此能产生尺寸范围很宽而较大密度的空化泡，这对于超声清洗及声化学反应是很有利的。
超声清洗设备用的换能器，国内外普遍采用压电换能器。我国自主创新的半穿孔结构宽频带压电换能器，生产实践表明，性能优于国外产品。其优点是频带宽，效率高，尤其是换能器的频率较高或其辐射面积较時大能减小横向振动，提高辐射效率，提高工作稳定性。为适应多频清洗，国内也开始生产双频或多频换能器，并用于超声清洗设备。20世纪末国外发展了管状和棒状换能器，其辐射面积大，效率高，使用寿命长，便于清洗管道及筒状容器。国内虽有产品，但尚未大量应用。在高声强清洗方面我国发展了一种聚能于长方形辐射面的高声强清洗器，用于清洗喷丝板、钢带、钢丝及一些难以清洗的工件。另一种聚能的棒状换能器可用于清洗油泵油嘴及深螺纹孔的清洗等等。
微电子工业生产过程中，要求清洗掉亚微米级以下的污物而不损坏器件，由此国外发展了兆赫级的超声清洗设备和喷淋式兆声清洗设备。
关于清洗剂，它大致可分为水系、半水系和非水系三大类。精密工业清洗以前最普遍使用的有机溶剂是CFC-113和TCA，因为它们的化学稳定性好，对大多数金属、漆类及塑料等不起作用，不会溶解；没有闪点，毒性低，渗透力强，使用安全；其沸点低，蒸发快，清洗后工件不必烘干，曾被广泛应用。
