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日常维护保养对保证加工质量，延长设备使用寿命是至关重要的。
（一）光路系统的维护保养
1、反射镜用久之后会被加工所产生的烟尘污染，降低反射率，影响激光的输出，必须保持清洁，定期检查。可采用无水乙醇或专用镜片清洁液，用脱脂棉小心擦净即可。注意尽量避用利物划伤反射镜表面。
2、聚焦镜内的聚焦镜片下表面也可能会被工件挥发物污染。当其被污染后，同样也会大大影响激光的输出。加工时一定要注意排烟和吹气保护，尽量避免聚焦镜被污染，若污染严重可采取如下方法小心清洁：
（1）卸下吹气管和压圈及保护套筒，小心取下聚焦镜
（2）用吹气球吹去聚焦镜表面的浮尘；
（3）用镊子小心夹住脱脂棉球蘸取无水乙醇或专用镜片清洁剂轻轻擦拭，要从内到外朝一个方向轻轻擦拭，每擦一次，需更换脱脂棉球，直到污物去掉后为止。
注意：不允许来回擦，更不可被利物划伤，由于透镜表面镀有增透膜，膜层损伤将会极大影响激光能量输出。
（二）运动机构的维护保养
1、设备机壳、激光电源、计算机电源必须良好接地，应定期检查接地螺丝有无锈蚀或松脱，及时清洁并紧固。
2、运动部分如直线导轨与丝杆如果被污染或锈蚀，将直接影响加工效果，应定期清洁与加防锈润滑油，导轨与丝杆在无油润滑的情况下会加大磨损从而减少使用寿命。
3、注意排烟口和排风管道不可堵塞，随时检查并去除遮挡物以保持畅通。
4、冷却水要注意保持清洁并定期更换。加工时应随时检查水位是否足够，水温是否过高。
