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机器人近日收到科技部“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项实施管理办公室发出的《关于2009年项目立项批复及核定中央财政资金预算的通知》，根据《财政部关于核定科技重大专项2009年立项项目(课题)中央财政资金预算并下达2009年年度预算的通知》，机器人申请承担国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目已完成立项审批。
机器人作为项目责任单位的《IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化》课题总预算金额1.47亿元，其中中央财政经费5864万元、地方配套经费5864万元、公司自筹经费3000万元。课题执行期为2009年03月至2013年12月。机器人已于2010年9月28日收到上述课题项目第二批中央财政经费资金4224万元，截至目前已累计收到4966万元，后续经费将按项目进度陆续拨付。
