支持300mm晶圆及17英寸液晶面板检查，适用多种尺寸晶圆。 采用人机工程学设计，内置搬运装置，离合驱动式载物台，按键操作便捷。 集成明场、暗场、偏光、DIC等多种观察功能，广泛应用于半导体、FPD等领域。 具有安全高速的电动物镜转换器、落射照明器，像质稳定，检测更高效。