在材料生产领域中，共聚焦显微镜具有直观测量的特点，能够有效提高工作效率，更加快捷准确地完成日常任务。它能够清晰地展示微小物体的图像形态细节，显示出精细的细节图像。

共聚焦激光显微镜以共聚焦技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等，能测各类包括从光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。

产品功能

(1)共聚焦激光显微镜设备具备表征微观形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；

(2)设备具备自动拼接功能，能够快速实现大区域的拼接缝合测量；

(3)设备具备一体化操作的测量与分析软件，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能；

(4)设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能；

(5)设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

应用领域

共聚焦激光显微镜对各种产品、部件和材料表面的面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

共聚焦显微镜在化学机械抛光课题研究中的应用
针对磨损区域较大、坡度也较为陡峭的生物摩擦和流体摩擦领域，采用中图VT6000系列共聚焦显微镜则更加匹配，其远胜于光学3D表面轮廓仪的大角度测量能力和超景深观察功能，能够轻松胜任磨损较为严重的表面形貌检测，从而帮助研究人员更加精 准的掌握磨损量评价数据。

如图所示，为检测生物摩擦课题中的样件表面磨损区域的3D形貌图像，其中心区域凹陷而在中心到上表面的边缘处呈大坡度形态，因而在采用光学3D表面轮廓仪进行检测时，会出现边缘陡坡处3D图像重建不完整、出现空白区域的问题，而使用共聚焦显微镜，则能够轻松获取完整的形貌数据与3D图像。

使用软件的孔洞体积功能对图像磨损区域进行处理与分析，能够获取准确的磨损区域深度、面积、体积等数值，从而对摩擦工艺参数与蚀坑形状以及磨损量的相关性进行定量研究，实现对摩擦磨损的有效利用。
而在流体摩擦课题中，更多的是对工艺处理后在样件表面形成的条状凹槽进行轮廓分析，由于形成的凹槽较宽、深度也较大，这导致凹槽到两侧平面的坡面角度大、颜色黝黑、反射率低，也是一种较为适合使用共聚焦显微来测量的形貌特征。如下图所示，在完成测量后，通过提取一条过凹槽的剖面轮廓曲线并分析，就能够获得准确的槽深宽度数据，进一步定量地研究工艺参数与磨损量的关联性。