Manz AG近日推出了一款新的全自动正面、背面镀膜系统，由此宣布了其开始进入用于晶体硅太阳能电池生产的真空镀膜系统市场。

　　据Manz公司称，VCS 1200等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统可以给垂直放置的硅片正反两面镀膜，其每小时可以完成1200片硅片的镀膜工作。钝化过程可以通过PECVD完成。该系统也可以集成到现有的生产线中。

　　VCS 1200可以在硅氮化物和氧化铝层创造出最优的层特性。此外，系统可以通过高性能的等离子体源(专利申请中)来缩减生产成本。等离子体源除了优化层特性以外，还具有镀膜的高稳定性。